Đánh giá về cảm biến Bộ cộng hưởng thạch anh chế độ dày-cắt cho nhiệt độ và áp suất

Tóm tắt—Công việc này đánh giá việc sử dụng các bộ cộng hưởng chế độ cắt độ dày để cảm biến nhiệt độ và đo áp suất.Ưu điểm của các cảm biến như vậy bao gồm định dạng kỹ thuật số vốn có, độ phân giải cao, độ chính xác cao và độ ổn định lâu dài.Công việc này xem xét các nguyên tắc vật lý liên quan đến hoạt động của thiết bị cùng với kết quả hoạt động của cảm biến được trích dẫn.
Các cảm biến nhiệt độ thương mại sớm nhất là các thiết bị độc lập.Việc sử dụng và thành công thương mại của chúng phát triển qua các giai đoạn khác nhau tùy thuộc một phần vào các thiết bị điện tử phụ trợ có sẵn vào thời điểm đó.
Một số ứng dụng cảm biến nhiệt độ là phụ trợ cho các cảm biến cộng hưởng cắt độ dày khác.Hai loại chính là bộ cộng hưởng riêng biệt để bù nhiệt độ và hoạt động ở chế độ kép của bộ cộng hưởng cắt độ dày đơn.Hoạt động chế độ kép chia nhỏ thành sử dụng hai chế độ từ các họ chế độ cắt có độ dày khác nhau hoặc hai chế độ từ cùng một họ chế độ cắt có độ dày.
Một loạt các cảm biến áp suất sử dụng thực tế là tần số của bộ cộng hưởng cắt độ dày thay đổi theo độ lệch ứng suất.Các ứng dụng như vậy phân chia thuận tiện thành các loại phụ thuộc vào mô hình sai lệch ứng suất được sử dụng.
Thuật ngữ chỉ số—Bộ cộng hưởng áp điện, đo áp suất, thạch anh, bộ chuyển đổi bộ cộng hưởng thạch anh, bộ cộng hưởng, đo nhiệt độ, bộ chuyển đổi.